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各國潔凈室(區)空氣潔凈度級別表
各國潔凈室(區)空氣潔凈度級別表 包含了國內外各種標準,本文主要介紹一下ISO14644-1(國際標準)、各國潔凈度等級近似對照表、各國潔凈度等級近似對照表、潔凈室及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級供大家參考。 潔凈室(區)空氣潔凈級別表 潔凈度級別 塵粒最大允許數/立方米 ≥0.5μm塵粒數 ≥5μm塵粒數 微生物最大允許數 浮游菌/立方米 沉降菌/皿 100級 3,500 0 5 1 10,000級 350,000 2,000 100 3 100,000級 3,500,000 20,000 5…
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晶圓潔凈廠房凈化空調設計準則
晶圓潔凈廠房凈化空調設計準則 名詞解釋: 1、晶圓 晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,而成為有特定電性功能的集成電路產品。晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經由電弧爐提煉,鹽酸氯化,并經蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達99.999999999%。 1、晶圓潔凈廠房 潔凈廠房也叫無塵車間、潔凈室(Clean Room),是指將一定空間范圍之內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除…